微电子系统封装期末总结—国科大集成电路学院

2023-10-30

国科大集成电路学院曹立强老师开设的微电子系统封装课程,是集成电路工程专业研究生的学科基础课,通过讲述微电子电路的封装设计、制造,以及与封装技术密切相关的设备和材料基本概念与知识,要求学生掌握包括电子封装设计原理、准则,基本制造原理和工艺流程,典型设备的原理和材料的性质与作用,以及封装制造过程中的相关问题及解决办法。具体包括电子封装定义、发展历史、封装分类、封装设计原理、分立器件封装、一般集成电路封装、超大规模集成电路封装、MEMS封装、光电器件封装、特种封装、晶圆级封装、三维封装、系统级封装、封装材料、制造原理与设备、可靠性等基础知识。


目录

一、封装简介

二、引线键合封装

三、倒装封装 Flip Chip

四、芯片尺寸封装WLCSP

五、晶圆级扇出封装 Fan out

六、TSV 2.5D/3D封装

七、电学设计与分析

八、热设计与分析

九、特色封装


一、封装简介

集成电路英文为Integrated Circuit,缩写为IC;是把一定数量的常用电子元件,如电阻、电容、晶体管等,以及这些元件之间的连线,通过半导体工艺集成在一起的具有特定功能的电路。

KGD是什么的缩写:是英文Known good die(已知合格芯片)的缩写

KGD用于描述什么:用于描述准备用于封装(单芯片、多芯片)的集成电路

系统级封装(SiP的定义:将多种功能芯片(包括处理器、存储器等)集成在一个封装内,从而实现一个基本完整的功能的一种封装方式

SoC(系统级单芯片)是将多个负责不同类型计算任务的计算单元,通过光刻的形式制作到同一块晶圆上

SiP与系统级芯片(SoC)的不同不同的是系统级封装是采用不同芯片进行并排或叠加的封装方式,而系统级芯片则是高度集成的芯片产品

封装的定义:封装是微电子产业链条的核心环节;微电子封装技术是将半导体(集成电路)芯片包封在某 一种标准组件中的方法、结构、工艺;通过这种包封,半导体芯片标准组件安装在PCB(系统)实现应用

封装的作用:封装是连接芯片与系统之间的桥梁;是芯片使用化的起点

封装的基本作用:电源分配、信号传输、支撑保护、散热、功能集成

封装密度越来越高指什么:单位封装体积的硅密度和单位面积/尺寸互连密度的大大提高

封装密度越来越高的具体体现:硅片的封装效率(芯片面积/封装面积=Sd/Sp)不断提高;封装的高度不断降低;互连线宽和节距不断缩小;三维封装技术成熟


二、引线键合封装

一级封装(芯片互连)工艺流程:Wafer--Back Grinding 磨片--Wafer Mount 晶圆安装--Wafer Saw 晶圆切割--Wafer Wash 晶圆清洗--光学检验--Die Attach 芯片粘接—Wire Bonding引线焊接—Molding 保护

芯片粘接的英文和定义:芯片在载体(引线框架/导线架、基板等)上的固定方法,即采用粘结或者焊接等技术实现芯片/管芯(Die/Chip)与底座(Carrier)的连接,常称为Die Bonding / Die Attach / 贴片等。

芯片粘接工艺考虑、性能指标:机械强度、化学性能稳定、导电性和导热性、热匹配特性、低固化温度和易操作性

芯片粘接的技术类型

  • 环氧树脂粘结技术:主要应用于芯片与底座要求相互绝缘的情况;组分含固化剂、固化促进剂、稀释剂、填充剂等;易加工、高粘合力、稳定、绝缘特性好;耐高温性稍差,收缩性较差;
  • 导电胶粘结技术 :工艺简单、成本低廉;典型固化温度:125~175°C;热稳定性稍差,机械强度高;既用于导热,又用于电学连接
  • DAF(die attach film)没有溢胶厚度可控导电导热适合叠层封(DAF粘接技术特点)
  • 共晶焊技术(eutectic)两种不同的金属,在远低于各自熔点温度下按一定的比例形成共熔合金,其熔化温度称共晶温度共晶温度定义)共晶温度与组分比例密切相关。共晶温度与什么密切相关)合金液体在共晶反应温度下冷却、凝固、结晶为两种或更多致密晶体混合物,称为共晶。共晶的定义)机械强度高、热阻小、稳定性和可靠性好。共晶焊技术的优点)
  • 纳米银(铜)烧结技术针对大功率器件芯片粘结开发;利用纳米银颗粒的尺寸效应(10nm-100nm),在辅助一定的压力下,低温下(300°C以下)烧结而成;烧结连接层为银,导电和导热性能均较好;可以在高温下服役,使用Ag成本高;流程较长,升温到一定温度后,需要保持一段时间;对芯片背面金属化有一定要求。

引线键合(Wire Bonding)的定义:指使用金属丝,利用热压或超声能源,完成微电子器件中固态电路内部互连接线的连接,即芯片与电路或引线框架之间的连接。

引线键合的方式:楔形焊(wedge-type bonding)(压力大打载体)球焊(ball bonding)(压力小打芯片)

引线键合的优点低成本,高可靠,高产量

引线键合的金属丝种类:Al,Au,Cu,Ag

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