摘要
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/701a58d4fea8114f46b1688bc977dadb.png)
建模任务
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/5b734a8e9a785b626a937ab16a38e007.png)
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
某一位置的Talbot图样
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/766f7e8ba9e7780e68a1617579769727.png)
某一位置的Talbot图样
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/a2e47e5cfbcdfc2c675e6d7496168c11.png)
不同位置的Talbot图样
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/b3ec5519325abb92696cc9952b6041b8.png)
不同位置的Talbot图样
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/62ca88ec29315eb1bbcd0a1f5ad68e6f.png)
沿Z轴的强度
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/d9e1e8088dcc93f3d90a13fb237ffdfb.png)
走进VirtualLab Fusion
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/55e6e620f2c13e8631b74dddcb828571.png)
VirtualLab Fusion的工作流程
构建光栅结构
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例]
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]
通过参数运行计算不同位置的强度
- 参数运行文件的使用 [用例]
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/e80c3529437b471f0dd41bf2d756aab4.png)
VirtualLab Fusion技术
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/9104ac974e41e2ac8cd91f309e58c45e.png)
文件信息
![](https://img-blog.csdnimg.cn/img_convert/9cf53b43e87363b940dc9689a41530e2.png)