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典型MOSFET制造工艺流程示意图
复旦大学姜玉龙的课程 半导体器件 截图 图中有的红点是鼠标 下面将阐述这个工艺过程 硅片基底 假设厚度800um 实际上只有上表层有用大概10um厚度左右 然后填充氧化物 用来隔离 然后进行阱注入 可以选择两边分别注入N阱或者P阱 从而隔开
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