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环境扫描/透射电子显微镜气体样品架的真空压力和微小流量控制解决方案
摘要 针对环境扫描 透射电子显微镜对样品杆中的真空压力气氛环境和流体流量精密控制控制要求 本文提出了更简单高效和准确的国产化解决方案 解决方案的关键是采用动态平衡法控制真空压力 真空压力控制范围为1E 03Pa 0 7MPa 采用压差法控制
真空压力流量温度张力控制
环境扫描电子显微镜
透射电子显微镜
样品杆
真空压力控制