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芯片制造的关键——光刻技术
光刻是集成电路最重要的加工工艺 他的作用 如同金工车间中车床的作用 在整个芯片制造工艺中 几乎每个工艺的实施 都离不开光刻的技术 光刻也是制造芯片的最关键技术 他占芯片制造成本的35 以上 在如今的科技与社会发展中 光刻技术的增长 直接关系
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