光栅尺的相关知识

2023-11-19

1.光栅尺的原理

我们可以类比普通卷尺,尺子上面有刻度,以这些刻度作为基准,你只需要把要测的物件和卡尺上的刻度做比较,就可以用来衡量长度、宽度、深度等信息。

同样地,光栅尺上也有“刻度”,只不过光栅尺上的刻度我们将之称为光栅,是通过光刻刻在尺子上的,因此它不是通过人眼来读取信息,而是通过配套的读数头,结合光栅来读取位置信息。

光栅的本质
光栅一般是刻在玻璃或钢带基体上,玻璃一般用于短行程尺子,大长度尺子,比如10米、30米,用钢带作为基体。通过光刻刻上去的一系列条纹和狭缝,一个条纹和一个狭缝的宽度称为栅距,常见栅距20um。读数头每扫描一个栅距,就产生一个正弦波信号周期,此信号再通过一个电子电路进行细分(读数头内置的或者外部细分盒),比如5,10,50,100倍的细分,就可以达到很高的分辨率。比如,一个20um栅距,经过50倍细分,那一个周期就是0.4um,这就是厂商说的分辨率。

读数头如何扫描光栅读取数据

在这里插入图片描述

如上图,读数头中有和尺体栅距一样的指示光栅(Scanning reticle),并且读数头中本身有LED光源,当读数头相对于光栅尺(Scale)移动时,LED光在经过了聚焦镜后(Condenser lens),照射到光栅尺上,然后光通过光栅狭缝,衍射到读数头的光电探测器上(Photocells),这样就在探测器平面上,产生了明暗相间的正弦干涉条纹。

需要注意的是,实际情况,光电探测器和LED在光栅尺的同一侧,都集成在读数头中。当光照射到光栅尺后,有一部分光会反射回去,然后通过聚焦镜,照射回光电探测器,形成电信号。

2.光栅尺的精度

±15μm,±5μm,±3μm,±1μm都有。

需要注意的是,这里说的精度,是光栅尺的制造误差,指每走1m实际可能的误差,而如果小距离行走,误差会更小,比如±0.275μm/10mm,±0.750μm/50mm,就是说运动10mm和50mm可能产生的误差分别是±0.275μm和±0.750μm,这是光栅的本身制造精度,也是选择光栅尺的一个重要参考。

比如,我们经常希望一个轴的定位精度是±3um/100mm或者±5um/100mm之类的,那么选择光栅尺的时候,首先,它的精度就要比这个要求高,比如±0.5um/100mm或者±1um/100mm。

另外,这里±1um/100mm并不能推导出±10um/1000mm,因为这里没有线性关系,往往光栅尺本身,会标注一两个短行程误差。比如精度±10um/m,往往100mm内的误差会小于±1um。

当然,读数头在细分信号的时候,也会引入误差,叫做差分误差,不过这个误差很小。比如一根光栅尺,栅距20um,分辨率为0.1um,周期误差(电子细分误差SDE)±0.15um。指的是栅距为20um的光栅,经过200倍细分,分辨率是20/200=0.1um,在这20um的栅距内,因为系统信号处理带来的误差是±0.15um。

光栅尺的测量精度还与哪些因素有关
通常还和导轨的精度、结构刚性、光栅尺和末端点的距离有关系,对温度敏感的系统,还和环境温度及光栅尺附近热源有很大关系。

通常导轨有直线度和平行度误差,读数头只能读取到光栅尺位置的信息,而我们关心的位置通常不是光栅尺位置,而是结构上功能点的位置,也就是存在阿贝误差。

结构刚性,光栅尺和末端点的距离都会影响阿贝误差。

温度的上升和下降,会导致光栅尺的热膨胀,也会引入误差,因为基准变化了,读数头会认为是光栅尺有一个微小运动。

3.光栅尺的制造

光栅是利用光刻的原理刻上去的

因为光可以被分的很纤细的,光刻是在被刻材料表面铺一层感光膜,然后透过已经刻好光栅的光罩用光去照它,被光照到的地方,感光膜就会被“烧掉”,这样就把光栅要保留的地方留下来了,然后扔到对应的液体里一泡,光栅尺也就做好了。

4.增量式光栅尺和绝对式光栅尺的区别

增量式光栅尺由周期性刻线组成。位置信息的读取需要参考点,通过和参考点的对比,来计算移动平台所在的位置。由于必须用绝对参考点确定位置值,因此增量光栅尺上,还刻有一个或多个参考点。由参考点确定的位置值,可以精确到一个信号周期,也就是分辨率。绝大多数场合,都使用这种光栅尺,因为它比绝对式光栅尺便宜。

而绝对式光栅,绝对位置信息来自光栅码盘,它由一系列刻在尺子上的绝对码组成。所以,编码器通电时,就可立即得到位置值,并随时供后续信号电路读取,不用移动轴执行参考点回零操作。

因为回零会浪费一定时间,如果机器有多个轴,那么回零循环可能变得既复杂又耗时。这种情况下,使用绝对式光栅尺是有利的。

另外,从速度和精度方面考虑,增量式光栅的最大扫描速度,取决于接收电子装置的最大输入频率 (MHz) ,和所需的分辨率。但是,由于接收电子装置的最大频率已固定,所以提高分辨率将导致最大速度相应降低,反之亦然。

而绝对式光栅,不会受到这种情况的影响,可确保高速和高分辨率运行。这是因为,位置根据需求和使用串行通信确定。绝对式光栅最典型的应用,是表面贴装技术 (SMT) 行业中的贴片机,在该行业中,同时提高定位速度和精度,是永远追求的目标。

5.光栅尺的选择

第一, 是精度。

第二, 分辨率。

第三,行程。

第四,最大检测速度。

第五,电接口及电线长度。

第六,安装方式及安装空间。

第七,抗振动性能。

第八,价格。绝对式光栅尺一般贵20%。

一般来说,精度和分辨率是我们选择光栅尺的首要因素。

6.光栅尺与编码器

光栅尺跟编码器的作用都是给系统反馈信息的,确切的说是反馈位移量的。光栅尺是反馈直线位移,编码器是反馈角位移的。系统可以从光栅尺中直接读出位移量,而编码器中的信息系统通过计算才能得出位移量。

光栅尺在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测,来观察和跟踪走刀误差,以起到一个补偿刀具的运动误差的作用。 如果只是用于电机的角度反馈,不需要上述类型的外部精度校准,就无需光栅尺!编码器和光栅尺组合,可以实现全闭环测量系统。

参考资料:光栅尺的原理是什么?怎么选择?供应商都没讲明白,6年了我第一次听懂

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