X射线荧光分析仪简称XRF,是分析XRF光谱分析技术可用于确认物质里的特定元素，同时将其量化。
发展历程
1895年伦琴发现X射线;
1910年特征X射线光谱的发现，为X射线光谱学的建立奠定了基础；
20世纪50年代商用X射线发射与荧光光谱仪的问世，使得X射线光谱学技术进入了实用阶段；
60年代能量色散型X射线光谱仪的出现，促进了X射线光谱学仪器的迅速发展，并使现场和原位X射线光谱分析成为可能。
后来又出现了全反射和同步辐射X射线荧光光谱仪、粒子激发X射线光谱仪、微区X射线荧光光谱仪等。
X射线荧光光谱仪原理
X射线荧光分析仪是一种比较新型的可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（X-荧光）。
X射线是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能量范围在 0.1~100 keV 的光子。X射线与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。
XRF工作原理是X射线光管发出的初级X射线照射样品，样品中原子的内层电子被激发，当外层电子跃迁时产生特征X射线，通过分析样品中不同元素产生的特征荧光X射线波长（或能量）和强度，可以获得样品中的元素组成与含量信息，达到定性定量分析的目的。
X射线荧光光谱仪分类
按照色散方式的不同，X射线荧光光谱仪可以分为2类：波长色散型X射线荧光光谱仪（
WDXRF
）和能量色散型X射线荧光光谱仪（
EDXRF
）。
能量色散型x射线光谱仪
现代应用
X射线荧光光谱分析技术目前已在
地质、冶金、材料、环境
等无机分析领域得到了广泛的应用，是各种无机材料中主组分分析最重要的技术手段之一，各种与X射线荧光光谱相关的分析技术，如同步辐射XRF、全反射XRF光谱技术等，在痕量和超痕量分析中发挥着重要的作用。
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