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LiDAR 3 MEMS激光雷达

2023-05-16

与传统机械雷达相比，MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 激光雷达使用微型的MEMS mirror反射光线，用微机电执行器代替电机，有些厂商也称MEMS激光雷达为固态雷达。
以Leddar Tech的MEMS激光雷达模块为例，
在这里插入图片描述另外一个示例

MEMS micro-mirror有电磁式Electro-Magnetic，压电式Thin-Film Piezo，静电场式 Electrostatic 几种实现方式。

电磁式Electro-Magnetic，
在这里插入图片描述
压电式Thin-Film Piezo，
在这里插入图片描述静电场式 Electrostatic，

三种类别的特性对比如下
在这里插入图片描述
MEMS mirror在一些消费品电子像AR眼镜上也有应用。
在这里插入图片描述

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LIDAR

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